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Diploma/Master theses

Musterbildung bei der elektrochemischen Oxidation von Silizium
Die Bildung von räumlichen und zeitlichen Mustern lässt sich an einer Reihe von physikalischen und chemischen Systemen beobachten. Auch bei der elektrochemischen Oxidation von Silizium, einer wichtigen Methode zur Behandlung von Siliziumoberflächen, haben wir Muster in der räumlichen Verteilung der Oxiddicke beobachtet [1,2].
Bei den Messungen kombinieren wir eine elektrochemische Zelle mit einem optischen Aufbau zur Abbildung der räumlichen Verteilung der Oxiddicke. Dabei wird die Polarisationsänderung eines von der Siliziumoberfläche reflektierten Teststrahles betrachtet, welche empfindlich von änderungen der Oxiddicke abhängt (ellipsometrisches Mikroskop).
Ziel der Diplom-/Masterarbeit ist es, die Musterbildung in Abhängigkeit von verschiedenen Systemparametern zu untersuchen, Rückschlüsse auf die zugrundeliegende dynamischen Mechanismen zu ziehen und letztlich ein Verständnis der mikroskopischen Prozesse zu entwickeln.

Pattern formation during the electrochemical oxidation of silicon
Spatial and temporal pattern formation can be found in numerous physical and chemical systems. We found such patterns in the oxide thickness distribution during the electrochemical oxidation of silicon, an important method for the preparation of silicon surfaces [1,2].
For the measurements we combine an electrochemical cell and an optical setup for the spatially resolved imaging of the oxide thickness. Thereby the change in polarisation, which is sensitively dependant on the oxide thickness, of a probe beam reflected from the silcon surface is monitored (ellipsometric microscope).
The aim of the Diploma-/Master Thesis is the investigation of the patterns dependant on different system parameters and the developement of an understanding of both, the underlying dynamical mechanisms and microscopic processes.

Spatiotemporal oxidation pattern on a silicon electrode. The images were taken at two different times in the same experiment. Variations in color correspond to variations in oxide thickness

[1] I. Miethe, V. García-Morales, K. Krischer, Phys.Rev.Lett. 102, 194101, (2009).
[2] I. Miethe, Ph.D. Thesis (2010), TU Muenchen.

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PhD Positions

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